Az inert atmoszférájú sütőket, más néven anaerob kemencéket nem oxidáló gázokkal, például nitrogénnel, tömített környezetben történő hőkezelésre tervezték, alacsony oxigénkoncentrációjú atmoszférában történő hőkezelésre alkalmas.
Leírás
Az Inert Atmosphere Oven sorozatot a félvezetőgyártásban használják szilíciumlapkák, gallium-arzenid, lítium-niobát, üveg PR-bevonat előtti sütésére, keményfólia-sütésre PR-bevonás után és magas hőmérsékletű sütésre előhívás után; Alkalmas termelési és tudományos kutatási részlegekhez is, például elektronikus folyadékkristályos kijelzőhöz, LCD, CMOS, IS és laboratóriumokhoz; nem illékony, nem gyúlékony és nem robbanásveszélyes tárgyak szárítására, hőkezelésére, öregítésére és egyéb magas hőmérsékletű vizsgálatára is használható.
Fő paraméterek
►Műszaki paraméterek
Kapacitás: Termékenként testreszabott
Hőmérséklet tartomány: Környezeti +50°C ~ 250°C
Oxigéntartalom: ≤50 ppm
Hőmérséklet egyenletessége: ±2,5%
Felfutási sebesség: szabályozható
Nitrogén bemenet: Φ8
Nitrogénáramlás: 0-240L/perc * 2 csatorna
►Struktúra
. Belső sütő: Rozsdamentes acélból és varratmentesen hegesztett argongázzal.
. Hermetikusan zárt: A kamra tömített az oxigénszint csökkentése érdekében.
. Levegőbeszívó szerkezet: Lehetővé teszi, hogy nem oxidáló gázok töltsék be a kamrát.
. O2 analizátor: Pontosan állítsa be az oxigénszintet 0,5-21% között
► Hőmérséklet-szabályozó rendszer
Intelligens JAPAN RKC hőmérséklet-szabályozó, programok és fix érték beállítása, AT automatikus hangolás, eltolás korrekció és kikapcsolás megőrzése.
► Kényszerített légáramlás
A szabadalmaztatott légcsatorna a meleglevegő keringtető rendszerben képes automatikusan beállítani a hőmérséklet egységességét.
Anaerob (inert) sütők jellemzői
► Hermetikusan zárt rozsdamentes acél stúdió a külső légkör bejutásának megakadályozására
► Az anaerob hőkezeléshez használjon inert nitrogéngázt
► Átfolyásmérő és nyomásmérő van felszerelve
► Többszörös védelmi biztonsági berendezések
Opciók
► PLC+7” programozható vezérlő
► Háromszínű villogó riasztás
► Túlhőmérséklet-határoló
► Kézi biztonsági berendezések
Miért válassza az inert atmoszférikus sütőket?
Manapság az áramkörökben a huzalozási anyagok az alumíniumról a kisebb ellenállású rézre váltak. Ezért normál szárítókemencében hőkezeléskor a réz részek oxidálódhatnak, ami hibákat okozhat. Emellett 250 fokos öregítést is végeznek annak ellenőrzésére, hogy a flash memóriára írt adatok nem törlődnek-e az elektromigráció miatt, illetve nem oxidálódnak-e a dudorok, így az oxigéntartalmat <100ppm-re kell csökkenteni. Ezt az anaerob sütőt úgy fejlesztették ki, hogy megfeleljen ezeknek az igényeknek.
Alkalmazás
Az inert atmoszférikus sütőket főként BPO ragasztó/PI ragasztó/BCB ragasztó kikeményítésére, IC (ostya, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, nagy pontosságú elektronikus alkatrészek és egyéb anyagok, alacsony oxigéntartalmú környezetben használják szárítási és öregedési tesztekhez. .